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烘箱 | 高溫爐

DTN無氧無塵烘箱 (Clean Inert Oven)

編號:DTN430C/630C/450C/650C
●RT+50~360℃/500℃
●潔淨度100級，HEPA 濾網過濾效率達99.97%
●氧濃度<20ppm
●高氣密壓力箱構造，縮短無氧過程，減少氮氣消耗。
●配廢液冷卻回收裝置
●適用於半導體晶圓固化等應用
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- DETAIL -

YAMATO DTN系列無氧無塵烘箱

潔淨度達 Class 100，氧濃度低於 20 ppm，專為半導體晶圓固化等高端製程應用設計。

產品特點

  • 高溫性能：最高工作溫度可達 360℃ 與 500℃，滿足不同製程需求。

  • 潔淨環境：配備高溫耐熱 HEPA 濾網，過濾效率達 99.97%，可維持潔淨度 100 。

  • 節能氣密設計：高氣密壓力箱構造，使氧濃度達標時間縮短，並大幅降低 N₂ 消耗。

  • 穩定密封：磁性密封結構搭配水冷保護，確保密封零件不受熱損。

  • 靈活控溫：支援快速升溫與降溫，並可依需求調整速率。

  • 環保回收：標配廢液冷卻回收裝置，實現高效與環保兼具的氣體管理。

應用領域

  • 半導體晶圓固化與封裝製程

  • 電子元件高溫處理

  • 精密器材與光電元件熱加工

  • 其他對低氧環境與潔淨度有嚴格要求的研究與生產


產品規格

型號 DTN430C DTN630C DTN450C DTN650C
方式 氮氣置換 + 強制送風循環
溫度範圍 室溫＋50～360℃ 室溫＋50～5060℃
控溫精度 ±0.3℃（at360℃） ±0.5℃（at500℃）
氧濃度 <20ppm
氧濃度到達時間 ≤20分鐘(250L/min氮氣) ≤25分鐘(250L/min氮氣) ≤20分鐘(250L/min氮氣) ≤25分鐘(250L/min氮氣)
升溫速度 約80分鐘（室溫～360℃） 約110分鐘（室溫～500℃）
內裝 不鏽鋼板
外裝 冷軋鋼板，外覆耐化性烤漆
隔熱材 矽酸鋁棉
加熱器 不鏽鋼加熱管
  6.0KW 9KW 10.8KW 14.2KW
氮氣預熱 1KW
HEPA濾網 0.3 µm 過濾效率達 99.97%
潔淨度 恆溫時潔淨度100 (可訂製-全程潔淨度100)
冷卻方式 冷卻水熱交換器
溫度控制方式 PID控制
溫度設定方式 液晶觸控螢幕+PLC
運行功能 定溫運轉、程序運轉
感測器 K type熱電偶式
安全裝置 門開關狀態檢測、過熱保護異常、氧濃度異常、氮氣預熱過熱保護、水壓偵測、
冷卻水/氮氣流量偵測、漏電斷路器、馬達過載監測
內尺寸(寬×深×高mm) 450×450×450 600×600×660 450×450×450 600×600×660
外尺寸(寬×深×高mm) 1090×1170×1570 1300×1320×1780 1090×1170×1570 1300×1320×1780
內容積 91L 216L 91L 216L
排氣口 40KF法蘭
電源(60Hz)
額定電流		 AC380V 16A 三相 AC380V 19A 三相 AC380V 20A 三相 AC380V 27A 三相
重量 約900kg 約1100kg 約900kg 約1100kg

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